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扩散泵最新娱乐体验_干式螺杆真空泵(2024年11月深度解析)

内容来源:亚心网络所属栏目:话题更新日期:2024-11-26

扩散泵

如何为真空干燥箱选择合适的真空泵?𐟤” 选择真空泵时,有几个关键因素需要考虑,以确保真空干燥箱的正常运行和高效性能。以下是一些重要的注意事项: 真空泵的工作压强𐟓Š 真空泵的工作压强应满足真空设备的极限真空及工作压强要求。例如,真空镀膜设备要求110-5mmHg的真空度,因此选用的真空泵的真空度至少要达到510-6mmHg。通常,选择泵的真空度要高于设备真空度半个到一个数量级。 选择合适的工作点𐟓Œ 每种泵都有一定的工作压强范围。例如,扩散泵的工作压强范围为10-3~10-7mmHg,而稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应选在这个范围内,避免在10-8mmHg下长期工作。 气体处理能力𐟌€ 真空泵应能够排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 组合真空泵𐟔犠 由于真空泵有选择性抽气,有时需要几种泵组合起来才能满足抽气要求。例如,钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵对氙有一定的抽速,两者组合起来,便能更好地满足真空要求。 油污染要求𐟛⯸ 如果设备严格要求无油,应选择各种无油泵,如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,但需采取防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等。 气体成分𐟔슠 了解被抽气体成分至关重要。气体中是否含有可凝蒸气、颗粒灰尘或腐蚀性气体?针对这些气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒及腐蚀性气体,应在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 环境影响⛽ 真空泵排出的油蒸气对环境有影响时,可以选择无油真空泵,或者将油蒸气排到室外。 振动影响𐟌€ 真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响?如果工艺过程不允许振动,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 通过以上几点,您可以更好地为真空干燥箱选择合适的真空泵,确保设备的正常运行和高效性能。

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电子显微镜为何需要真空系统? 𐟔 电子显微镜的工作原理依赖于高能电子束的精确发射和聚焦。然而,空气中的分子会阻碍这一过程,导致电子束无法顺利到达样品并形成清晰图像。因此,真空系统对于电子显微镜至关重要。 𐟌쯸 真空系统通过两种类型的真空泵来确保镜筒中的高真空度。启动时,第一级旋转式真空泵(rotary pump)首先将空气抽出,为第二级油扩散泵(oil diffusion pump)提供预真空。第二级泵则负责达到更高的真空度,为电子显微镜提供稳定的工作环境。 𐟓𘠦‰릏电镜利用高能电子束扫描物体,以产生清晰的图像。如果空气中存在分子,高能电子束会与其碰撞,导致准直性受损,无法形成高质量的图像。因此,真空系统不仅防止空气分子对电子的散射,还避免了电子能量的损失。 𐟔砧œŸ空对电子显微镜的重要性体现在多个方面。首先,高真空环境有助于保持电子束的聚焦和准直,从而提高成像分辨率。其次,避免与空气分子碰撞后电子能量的损失也是真空系统的重要功能。 𐟓Š 电子显微镜对真空度的要求极高,通常需要达到1E-7mbar甚至1E-10mbar的高真空或超高真空。此外,真空泵的振动水平也会影响电子束的定位精度。为了保持高精度的成像,电子显微镜通常采用无油干式真空泵,以避免油蒸汽对样品或内部元件的污染。 总之,真空系统是电子显微镜不可或缺的一部分,它为高能电子束提供了稳定的工作环境,从而保证了成像的质量和分辨率。

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没法策略油温,只能用红外测温仪测量了扩散泵加热盘外部温度,只有150-160度,这样正常吗?内部温度够不够? 下图箭头指示的是测量位置。

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